為了提高厚膜電路的精度,必須進行阻值調(diào)整。由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準確性,基板表面的不均勻及燒結條件的不重復性,厚膜電阻常出現(xiàn)正負誤差,如果阻值超過標稱值將無法修正,但是,一般情況下印刷燒成后阻值低于目標值的大約30%,所以要通過激光調(diào)整達到目標值。
激光調(diào)阻系統(tǒng)及修調(diào)技術機理
激光修調(diào)是把一束聚焦的相干光在微機的控制下定位到工件上,使工件待調(diào)部分的膜層氣化切除以達到規(guī)定參數(shù)或阻值。調(diào)阻時局部溫升使玻璃熔化,氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋,可填平基體表面被切割的介質(zhì)。先進的激光修調(diào)系統(tǒng)應用了大量的LSI、VLSI電路,以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位、分步重復及測量等系統(tǒng)相連接。測量系統(tǒng)由電橋和矩陣組合的無源網(wǎng)絡組成。先進的激光修調(diào)系統(tǒng)具有多種修調(diào)功能,可以修調(diào)混合集成電路、厚薄膜電阻器網(wǎng)絡、電容網(wǎng)絡、瓷基薄膜集成元件,還可以修調(diào)D/A和A/D轉(zhuǎn)換器的精度,V/F轉(zhuǎn)換器的頻率,有源濾波器的零點頻率及運算放大器的失調(diào)電壓等。
先進的激光修調(diào)系統(tǒng)主要包括以下幾個部分:
?。?) 激光器部分
采用端泵激光器,出光更精細,效果更好。
?。?) 光束定位系統(tǒng)
采用振鏡式高速線性馬達,提高定位速度和精度。
?。?) 視頻監(jiān)視系統(tǒng)
采用光學反射系統(tǒng)以及高清攝像系統(tǒng),融合光束和攝像為同軸,視頻跟隨光斑移動,便于激光定位和監(jiān)視。
?。?) 修調(diào)設定器
它直接與激光器、光束定位器、分步重復臺及測量系統(tǒng)相聯(lián)接。它可以通過程序改變刻蝕尺寸,改變切割的修調(diào)方向,決定阻值變化,而不影響精度。另外,還具有自動校正功能,在長期工作時可使修調(diào)設定值保持穩(wěn)定。
?。?) 阻值及電壓測定裝置
采用電橋和矩陣組合的測試無源網(wǎng)絡,阻值測量精度可達0.1%,測量時間僅為5ms。這種設計可以防止外界干擾,且由于采用差動測量,自動消除偏離及極性轉(zhuǎn)換,還可用來測定有源電路修調(diào)時的直流電壓。
修刻方式主要有以下幾種:
?。?)單刀切割電阻法
(2)雙刀切割電阻法
?。?)L型刀口切割電阻法
?。?)交叉對切電阻法
?。?)曲線型L刀口的切法
?。?)曲線型U型刀口的切法
在實際工作中,主要應用的是前4種,對于不同的電阻應根據(jù)其方數(shù)的不同選擇不同的刀口。其中雙切和L型刀口最為常用,而且調(diào)過的阻值穩(wěn)定性好。
關鍵詞:激光調(diào)阻機